由于‘磁约束放电等离子体光源’是星源科技和华科协会的共同研究成果,消息在国内的科学界飞速传开。
胡锐晖在得知后,猛地站起身,根本不敢相信。
“这才四个月不到,就特么有成果了?开什么玩笑?”
胡锐晖在办公室里走来走去,竟破天荒地爆了粗口。
同一时间,哈工大光学实验室和龙州光机所也收到了消息。
第一反应,假的!
可他们在反复验证后,又不得不相信,星源科技和燕京光电所,还真把EUV光源技术给搞了出来。
并且,还成功绕过了阿斯麦、卡尔蔡司、山星、湾积电和Cymer构筑的专利防御墙。
两个小时后,李青松接到胡锐晖的电话。
“先封锁消息,让安国协会的工作人员立刻赶到沪城,所有参与了研发过程的人员,一律签署保密条例。”
李青松在明白这项技术的重要性后,脸色瞬间变得凝重起来,冲着一旁的秘书吩咐道。
他在星源科技身上,看到了国产光刻机崛起的希望!
“好的,李先生。”秘书不敢耽搁,抓起电话就开始联系安国协会,将需要签署保密条例的人员名单、对接流程一一梳理清楚。
李青松则站在办公室的玻璃窗前,望着燕京灰蒙蒙的天空,不由地陷入了沉思。
星源科技在EUV光源领域的技术突破,像一道惊雷,劈开了自研光刻机路上的迷雾,可随之而来的,还有无数即将袭来的暗流。
一旦消息泄露,阿斯麦、卡尔蔡司那些国际巨头绝不会坐视不理,要么通过专利诉讼拖延进度,要么联合供应链施压,甚至可能动用盘外力量干预。
毕竟,半导体行业从来都不只是单纯的技术竞争,背后牵扯着太多的利益博弈。
星源科技的发展让人出乎意料!
与此同时。
沪城星源科技的光学研究实验室里,林南正带领团队进行第三次稳定性测试。
屏幕上跳动的数据流显示,13。5纳米波长的极深紫外光输出强度稳定在92%以上,能量转换效率为7。1%,远超阿斯麦所掌握的LPP光源。
这个数据,已经达到了商用标准!
但接下来,还有很多巨大的挑战和不确定性。
比如,脉冲放电和等离子体本身会产生巨大热量,旋转靶和液膜都需要极强的冷却能力,目前的热管理技术就不匹配。
开辟一条新路,虽然可以独享,但配套设备和技术都得自己慢慢摸索。
道阻且长!
……
……
傍晚时分,陈延森在下班后,并没有回三角洲别墅区,而是赶到机场,乘坐湾流550飞往庐州。
明天下午两点,天工科技将在庐州会议中心召开新品发布会,正式把天工B100和天工C100推向市场。
他自然不能缺席。
半个小时后,飞机降落在庐州新桥机场。
接着换乘一辆迈巴赫,朝着包河区的一间别墅驶去。
又过了三十分钟,老黄才把车子缓缓停下。
只见一栋三层高的别墅矗立在眼前,占地面积200多平方米,地下一层,地上三层,建筑面积超过了800平方米。
自带200多平方米的花园,与虚城的别墅有所不同,这间房子除了观景水池外,还有一个露台泳池。
两年前买的,陈总一次都没住过。
“老黄,明天下午一点来接我。”
陈延森下了车,随口说了一句。
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