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第626章 难道没有国外的技术我们就造不出EUV光刻机吗（第2页）

沪城光机所的一名专家点头附和道：“以前我们不需要皮米级别的抛光精度，所以技术进展就慢，现在不一样了，只要搞定照明系统的非球面反射镜，这EUV光刻机的光学系统，就等于拿下了一半的核心技术。”

话虽如此，实验室里的气氛却没怎么缓和。

林南苦笑一声，指着桌上的检测报告：“道理都懂，可现实摆在这里，我们的仪器测试精度仅有亚纳米水准，面形精度够不够，压根不知道。”

这无异于闭着眼睛走路，方向对不对都不确定，怎么提升？

燕京光电所的年轻工程师语气哽咽，一脸绝望地小声呢喃道：“难道没有国外的技术支持，我们就造不出EUV光刻机的核心部件吗？”

这话就像一根钢针，把所有人的信心都给戳破了。

“放屁！人家花了几十年积累的技术，我们才用了几天？这点耐心都没有吗？”

汪象朝猛地站起身，大声反驳道：“一个月时间，我们就把照明系统的方案推演出来了，这说明思路是对的。

我已经和长春、燕京光机所的人沟通好了，接下来大家齐头并进：咱们先攻坚投影物镜系统，等抛光和镀膜技术达标后，再整合各项技术，总能把这块硬骨头啃下来。”

他的话像一剂强心针，让实验室里低迷的气氛稍稍回暖。

林南深吸一口气，跟着站起来说道：“汪老说得对，咱们先按照分工，集中精力攻投影物镜系统的光路设计。”

沪城光机所的专家立刻拿出图纸，指着上面复杂的光路结构：“投影物镜得把照明系统过来的光束精准聚焦到晶圆上，而且要消除各种像差，这对镜片的曲率精度要求比反射镜还高。

我们之前设计的光路，在模拟环境中还存在0。5弧秒的像差偏差，得再优化。”

汪象朝凑到图纸前补充道：“我查过资料，蔡司的投影物镜用了15片高精度镜片，每片的面形误差都控制在20皮米以内。

我们要是能把像差偏差降到0。2弧秒以下，后续工艺跟上，说不定就能赶上他们的水平。”

几人越聊越投入，当即围着图纸和电脑忙碌了起来。

汪象朝负责调整光路模拟参数，林南则带领几人核算镜片曲率与像差的对应关系，剩下的研发人员也连忙压下此前的负面情绪，将精力快速投入到各自的工作中。

……

……

次日一早，陈延森给陶静文打去电话，借助孟远志的关系，拿到了一张庐州科大的通行证，可自由进出光电实验室。

镜面抛光和镀膜工艺，都得在实验中不断完善，才能找到优化方向。

光靠理论推算，是得不出结果的。

同一时间，林南也抽调了一批擅长超精密抛光技术的研发人员，派往庐州。

当刘峰俊等人进入庐州科大的光电实验室时，刚好看见正在更换洁净服、佩戴无尘乳胶手套和无尘口罩的陈延森。

他不是森联资本的创始人吗？

为什么会在实验室里？

“刘先生，幸会！”陈延森停下手中的动作，径直朝刘峰俊走去，随即伸出右手说道。

“陈先生，您好。”刘峰俊虽然有一肚子的疑问，但他也不好直接发问。

他是国防科大超精密加工团队的高阶研究员，博士学历，智力不俗。

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